概況：具有短波、中波及長波激發發光，可用于分析缺陷產生的深度。本功能適用于擴散后的樣品。
短波波長：360nm—400nm；
中波波長：520nm—560nm；
長波波長：650nm—850nm；
軟件功能：
1、圖像增強功能
獲得PL圖像之后，軟件可通過圖像增強算子，使缺陷區域對比度提高，讓一些容易被忽略的缺陷顯示更明顯。

2、缺陷區域自動選中
軟件通過邊緣算子，可將需要缺陷區域輪廓自動選中。